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型号 |
Mirrors.TxTy0303 |
Mirrors.TxTy1010 |
Mirrors.Z12TxTy0101 |
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运动方向 |
TX,TY |
Z，Tx & Ty 向 |
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底面尺寸×高度（mm） |
详见工程图 |
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主体材料 |
铝合金 & 不锈钢 |
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运动行程 |
θX, 3 mrad θy, 3 mrad |
Θx,10mrad Θy,10mrad |
12 um / 1 mrad / 1mrad |
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运动分辨率 (开环) |
0.05urad（开环） |
0.2urad（开环） |
Z：0.2 nm； Tx：0.05 urad；Ty：0.05 urad |
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运动分辨率 (闭环) |
0.1urad（闭环） |
0.5urad（闭环） |
Z：0.4 nm； Tx：0.1 urad； Ty：0.1 urad |
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线性误差 |
<0.1% |
0.2% |
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共振频率 (空载) |
2 kHz |
1 kHz |
5.5 kHz |
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摇摆半径 |
5.5mm |
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闭环传感器（闭环版本） |
SGS |
电阻式 |
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驱动电压 |
Max.150V |
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推荐使用温度 |
-20~80℃ |
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搭配控制器 |
Archimedes.3S控制器 |
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镜片重量 |
30g |
30g |
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