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型号 |
SH30.xyz.0 /.C |
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运动方向 |
X ,Y ,Z 方向 |
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底面尺寸×高度（mm） |
160×160×35 |
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主体材料 |
不锈钢 |
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自重（g） |
4000 |
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运动行程（um） |
30×30×15 |
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运动分辨率（nm） |
0.1(开环) 0.3(闭环) |
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运动可重复精度（闭环）（nm） |
<3 |
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偏摆角度（urad） |
20/ 20 / 50 |
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共振频率 (空载)（Hz） |
50 |
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最大负载（kg） |
10 |
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闭环传感器（闭环版本） |
电容式 |
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驱动电压（V） |
150 |
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推荐使用温度 |
-20 ~ 80 °C |
13810146393
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