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型号 |
Free6D.3-2.150 |
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外形尺寸（mm） |
Ø150×112 mm |
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主体材料 |
不锈钢/铝合金 |
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运动参数 |
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行程 X, Y, Z |
± 9 mm, ± 9 mm, ± 5 mm |
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行程 ΘX, ΘY , ΘZ |
± 10 °, ± 10 °, ± 20 ° |
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单向重复定位精度 X, Y, Z |
± 0.3 um, ± 0.3 um, ± 0.1 um |
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单向重复定位精度 ΘX，ΘY，ΘZ |
± 5 urad, ± 5 urad, ± 5 urad |
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最小位移 X, Y, Z |
0.1 um, 0.1 um, 0.1 um |
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最小位移 ΘX，ΘY，ΘZ |
5 urad, 5 urad, 5 urad |
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位置传感参数 |
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集成传感器 |
光学编码器 |
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位置传感分辨率 |
- 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选 |
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控制器信息 |
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工作电压 |
220 V |
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控制器通道 |
6通道输出控制 |
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通讯接口 |
USB，232，网口通讯 |
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控制软件 |
提供PC端使用软件，支持labview，串口命令集控制 |
13810146393
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