Ambient Temperature · Carrier.L7550.XY Large-range piezoelectric scanning table

Optional Versions ⇨

Default

.NM

.HV

.UHV

.NM version, non-magnetic;

.HV version, high vacuum;

.UHV version, compatible with 2E-11 mbar

Orientation of

1         movement

X，Y

2         Bottom size * height

250 mm × 200 mm ×  30 mm

Required installation

3         space

325 mm × 250 mm

4         Effective perforation

85 mm × 65 mm

5         Main Material

Aluminum alloy

6         Cables & Connectors

Standard shielded cable

D-Sub 9 Connector

Kapton enameled Wire，

PEEK-2mm Pin

7         Operating temperature

10 – 40 °C

Motion parameters - space recommended mounting form I. (The following properties are measured in the recommended installation form)

8         Travel

75 mm × 50 mm

9         MAX. Velocity

~ 20 mm/s

10        Min. Step

～ 30 nm

11        Drive Frequency

Max. 20 kHz （Super quiet movement）

12        Maximum load

2 kg

13        Full-travel pitch/yaw

0.8 mrad

传感精度

14        Position Sensing Type

- Resistance type sensing ( .R )

- Optical scale sensing ( .O )

15        Position sensing range

75 mm × 50 mm

16       Position sensing resolution

- Resistance type sensing ( .R ), 100-200 nm

- Optical scale sensing ( .O ), 10 nm ( default )，1nm ( option )