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物镜 |
5x NA=0.28
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20x NA=0.40
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100x NA=0.8
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离焦量z分辨率 |
< 1 μm |
< 0.5 μm |
< 0.06 μm |
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激光光斑尺寸（焦点处） |
~2 μm |
~2 μm |
~1 μm |
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测量时间（刷新频率） |
< 20 ms(50 Hz），可调节最高100 Hz |
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荧光激发和收集模块 |
激光波长 |
213/266/375 nm |
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激光功率 |
213nm激光器，峰值功率＞2.5kw@1KHZ，266nm激光器，输出功率2-12mw可调 |
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自动对焦 |
• 在全扫描范围自动聚焦和实时表面跟踪 • 对焦精度<0.2微米
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显微镜 |
•用于样品定位和成像 •近紫外物镜，100X/20X，用于375nm激光器,波长范围355-700 nm
•紫外物镜, 5X,用于213 nm/266nm的紫外激发, 200-700 nm
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样品移动和扫描平台 |
平移台 |
•扫描范围大于300x300mm。 •最小分辨率1微米。
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样品台 |
•8寸吸气台（12寸可定制） •可兼容2、4、6、8寸晶圆片
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光谱仪 探测器
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光谱仪 |
•320 mm焦长单色仪，可接面阵探测器。 •光谱分辨率：优于0.2nm@1200g/mm
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可升级模块 |
翘曲度测量模块 |
重复测量外延片统计结果的翘曲度偏差<±5um |
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紫外测量模块 |
5X紫外物镜，波长范围200-700 nm。应用于213 nm、266nm的紫外激发和侧面收集实现AlGaN紫外荧光的测量 |
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膜厚测试模块 |
重复测量外延片Mapping统计结果的膜厚偏差<±0.1um |
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荧光寿命测试模块 |
荧光寿命测试精度8 ps，测试范围50 ps-1 ms |
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软件 |
控制软件 |
可选择区域或指定点位自动进行逐点光谱采集 |
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Mapping数据分析软件 |
•可对光谱峰位、峰高、半高宽等进行拟合。 •可计算荧光寿命、薄膜厚度、翘曲度等。
•将拟合结果以二维图像方式显示。
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13810146393
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