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型号 |
Carrier.HS100.z.C |
Carrier.HS100.xy.C |
Carrier.HS100.zTxTy.C |
Carrier.S100.xyRz.C |
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工作环境 |
.NM， 绝对无磁版本； .UHV，超高真空版本； |
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运动方向 |
Z方向 |
XY 方向 |
Z，θx & θy |
XY 方向 + Rz旋转 |
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底面尺寸×高度（mm） |
150×50×30 |
150×150×30 |
150×150×30 |
150×50×30 |
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主体材料 |
铝合金 & 不锈钢 |
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自重（g） |
1000 |
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运动行程 |
100 um |
100 um ×100 um |
100 um，1 mrad & 1mrad |
100 um x 100 um Rz:1 mard |
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中空透孔（mm） |
66×66 |
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线性度误差（z方向运动） |
0.035% |
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俯仰/偏摆/旋转 |
50 urad / 50 urad / 10 urad |
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/ |
/ |
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运动分辨率（闭环/开环） |
1 nm / 0.3 nm |
1 nm / 0.2 nm |
1 nm / 0.5 nm |
1 nm / 0.2 nm |
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运动可重复精度 |
± 10 nm |
± 10 nm |
± 10 nm, ± 0.1urad |
± 10 nm |
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刚性（N/ um） |
2.5 |
2 |
2 |
2 |
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共振频率（空载/2.5 kg） |
500 Hz/ 200 Hz |
420 Hz/ 130 Hz |
480 Hz/ 160 Hz |
420 Hz/ 130 Hz |
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最大负载（kg） |
5 |
3.5 |
2.5 |
3.5 |
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闭环传感器（闭环版本） |
电容式 |
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驱动电压 |
Max. 150 V |
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推荐使用温度 |
-15 ~ 40 °C |
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