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型号 |
LS25x.Lab.R |
LS35x.Lab.o/R |
LS65x.Lab.O/R |
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底面尺寸×高度（mm） |
25×25×10 |
35×35×12 |
65×65×13 |
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主体材质 |
默认不锈钢（可选铝合金、纯钛版） |
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自重（g） |
40g |
102g（.R）200g(.O) |
200g(.O) |
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运动行程（mm） |
8 |
20 |
30 |
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最大速度（mm/s） |
-20 |
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最小步伐（nm） |
~15 |
~10 |
~10 |
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重复定位精度（nm） |
/ |
300 |
200 |
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驱动频率 |
Max. 20 kHz （超安静运动） |
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最大水平推力（N） |
2 |
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保持力 |
5 |
5 |
5 |
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全行程俯仰/偏摆 |
0.2 mrad / 0.3 mrad（0.012°/0.017°） |
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水平负载 |
500g |
500g |
2000g |
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竖直负载 |
200g |
200g |
150g |
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位置传感类型 |
- 电阻型传感（ .R ） |
-电阻型传感（ .R ） -光栅尺传感（.O ） |
-电阻型传感（ .R ） -光栅尺传感（.O ） |
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位置传感量程（mm） |
8 |
20 |
30 |
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位置传感分辨率 |
- 150nm |
电阻型传感（ .R ）， 100-200 nm - 光栅尺传感（.O ）， 10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选 |
- 电阻型传感（ .R ），100-200 nm - 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选 |
13810146393
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