Carrier.S200.xy/xyz.C系列中空压电扫描台产品特⾊
• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；
• 闭环定位精度优于 1nm；
• 最⼤负载 500 g；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)选件升级
|
型号 |
Carrier200.xy. /xyz.C |
|
运动方向 |
Carrier.S200.XY : X，Y 方向 Carrier.S200.XYZ : X，Y，Z 方向 |
|
底面尺寸×高度（mm） |
182×150×15 |
|
主体材料 |
铝合金/ 不锈钢 |
|
自重（g） |
1000 |
|
运动行程（um） |
Carrier.S200.xy : 200×200 Carrier.S200.xyz : 200×200×200 |
|
中间通孔尺寸（mm） |
77×65 |
|
运动分辨率（nm） |
2 |
|
运动可重复精度（nm） |
士20 |
|
线性误差 |
优于 0.1% |
|
共振频率（Hz） |
200(X) 150(Y) |
|
最大负载（g） |
500 |
|
闭环传感器（闭环版本） |
电容式 |
|
驱动电压 |
Max. 150 V |
|
推荐使用温度 |
-15 ~ 40 °C |
|
质量（kg） |
1 |
13810146393
在线咨询
