产品简介
微纳光电成像测试系统是一种利用显微成像手段，通过不同波长激光进行探测，分析表征光电子器件的短路电流分布，表面缺陷， 反射率等参数。并通过扫描获得的图像，分析各种参数的平面均匀性，为光电器件的结构优化提供参考。
卓立汉光经过多年研究，推出基于振镜显微系统的LBIC 系统。本设备有着快速扫描，高分辨等特点，可以广泛应用于：单晶硅、多晶硅、非晶硅、有机半导体、染料敏化等各类太阳能电池研究，也可以应用于GaN 等光电器件的研究。对光电探测器的量子效率， 器件的电阻分布特征，研究太阳能电池光生电流的不均匀性，研究器件吸收和电荷生成的微区特性，以及光电材料界面，半导体结区的品质分布等提供可靠的分析数据。
系统结构描述：
激光通过扫描透镜，扫描振镜，成像透镜，由显微镜聚焦到样品表面，激光激发样品产生光电流，光电流信号通过探针引出至电流源表，再通过软件在软件中读出。扫描时，振镜是通过电压控制器控制光束的偏转角度，激光的光斑在样品的XY 方向上扫描移动， 软件记录每一个激光聚焦光斑的位置和其对应的电流值，在软件上同步描绘出光电流成像图，显示了样品的电流分布。由于采用振镜结构，光斑移动在物镜处是不同位置入射，而不是不同角度入射，因此可以保证入射到样品不同位置的光斑模式不会变化
整个系统的结构如下图所示：包含
■ 光源（激光器或者连续光源），系统原理结构如下图所示：
下图为光斑在扫描设定不同位置模式没有变化
产品特点
■ 多路激光波长可选；基本参数
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激光器（光源） |
标配532nm激光器，能量稳定性1%@4小时 可选配2路激光器用于光电流测试 |
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显微镜模块 |
反射式/透射式LED照明 物镜：标配（20X， WD=7.5mm） 超长工作距离 最大扫描范围：260 x 200 μm （20x物镜下） 位置重复性：小于1 μm 最小扫描步长：0.2μm 步长可选范围：0.2-30μm 激光光斑：2μm |
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数据采集 |
电流源表：Keithley 2450 测量范围：1nA ・ 1A 暗噪声：50pA 分辨率：20fA 准确度： 0.03% |
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探针台模块 |
直径65mm真空吸附卡盘 探针座和样品整体二维移动，方便样品位置与光斑位置重合 样品位置单独二维移动，方便同类样品更换 样品位置移动行程25mm，分辨率5μm 探针座：XYZ行程12mm，分辨率0.7μm 探针：钨针，直径5μm，10μm，20μm可选 |
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软件 |
光电流扫描（Mapping）：可以设定固定的电压，逐点获取电流值 I-V曲线扫描（Mapping）：可以设定指定的电压区间，逐点获取I-V曲线 指定区域扫描（Mapping） |
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光谱响应度测试（选配） |
光谱范围200-1100nm，可以扩展到2500nm 光谱响应度曲线 量子效率曲线 偏压设置功能 |
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激光器（选项） |
波长：405nm或者635nm可选，其他波长咨询销售 能量稳定性：小于1%@2个小时 功率：10mW和30mW（可选） |
主机：i7，16G 内存，256G 固态+2T 机械硬盘， 2G 独显；21.5 英寸电脑显示器
软件功能：
阈值处理；局部放大，等高线显示，三维显示，单点测试数据显示，导出txt，excel 数据等。
软件功能说明：
软件测试界面如下图：
数据分析软件界面如下图所示：
测试案例：
测试条件：
图A, 样品扫描区域的CCD 监控图，图B, 样品mapping 数据处理等高线图以及三维图。
2. 纳米材料-WSe2：有效面积25X10um
测试条件：
图A, 样品监控区域成像图，图B, 样品扫描区域的CCD 监控图，图C, 样品扫描（mapping）数据处理等高线图以及三维图。
选型列表：
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规格/型号 |
DSR500-LBIC |
DSR500-LBIC-RDB |
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激光器 |
波长532nm，功率：30mW；稳定性：1%@2小时 |
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物镜 |
20X@奥林巴斯，WD=7.5mm，波长范围：350-750nm |
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探针台 |
2个探针座 |
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数据采集 |
Keithley 2450 |
无 |
13810146393
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