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型号 |
UFP3C-L |
UFP3C-R |
UFP5C |
UFP5C-R |
UFP6C-L |
UFP6C-R |
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行程 (灵敏度) |
X |
粗调：±6.5mm；精调：±0.3mm；(粗调：≤10μm；精调：≤0.5μm) |
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Y |
粗调：±6.5mm；精调：±0.3mm；(粗调：≤10μm；精调：≤0.5μm) |
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Z |
粗调：±6.5mm；精调：±0.3mm；(粗调：≤10μm；精调：≤0.5μm) |
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θx |
- |
- |
±3°(≤25.2″) |
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θy |
- |
- |
±3°(≤23.4″) |
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θz |
- |
- |
- |
- |
±4°(≤34″) |
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导向机构 |
交叉滚柱导轨 |
交叉滚柱导轨+交叉滚柱轴环 |
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驱动方式 |
分厘卡 |
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主体材料及表面处理 |
铝合金，黑色阳极氧化处理 |
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自重(Kg) |
1.74 |
2.37 |
2.7 |
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负载(Kg) |
1.5 |
1 |
0.5 |
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13810146393
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